2024年11月7日
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李松
作品数:
20
被引量:1
H指数:1
供职机构:
中国科学院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
机械工程
轻工技术与工程
核科学技术
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合作作者
许新
中国科学院
刘兴
中国科学院
郭玉飞
中国科学院
洪克超
中国科学院
陆涛
中国科学院
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刘兴
供职机构:中国科学院
研究主题:植物叶片 进气 PECVD 晶体硅 化学计量比
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研究领域
赵崇凌
供职机构:中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
研究主题:PECVD 氮化硅 进气 卸载 装载
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郭玉飞
供职机构:中国科学院
研究主题:进气 PECVD 晶体硅 传输系统 氨气
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王学敏
供职机构:中国科学院
研究主题:进气 PECVD 晶体硅 传输系统 氨气
发表作品
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供职机构
所获资助
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许新
供职机构:中国科学院
研究主题:进气 PECVD 晶体硅 传输系统 氨气
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供职机构
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张健
供职机构:中国科学院金属研究所
研究主题:单晶高温合金 定向凝固 镍基单晶高温合金 高温合金 电火花沉积
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供职机构
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李士军
供职机构:中国科学院
研究主题:PECVD 氮化硅 进气 卸载 装载
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相关人物
供职机构
所获资助
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陆涛
供职机构:中国科学院
研究主题:PECVD 氮化硅 进气 卸载 装载
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相关人物
供职机构
所获资助
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洪克超
供职机构:中国科学院
研究主题:PECVD 氮化硅 进气 卸载 装载
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相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
王刚
供职机构:中国科学院
研究主题:日化 平均聚合度 壳聚糖季铵盐 菊糖 海洋化工
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