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徐峥谊

作品数：13 被引量：16H指数：2
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
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地区

  • 5个上海市
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共 6 条 记 录，以下是 1-6
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
熊斌
供职机构：中国科学院广州能源研究所
研究主题：微机械 硅 基片 热电转换效率 片状
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王翊
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 红外吸收 黑体 各向异性腐蚀 单晶硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
熊斌
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 键合 热电堆 弹性梁 微机械陀螺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王渭源
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 传感器 微电子机械系统 微机械器件 金刚石薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
戈肖鸿
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 微机械 互连 多晶硅 各向异性腐蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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