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周宗义
作品数:
6
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供职机构:
中国科学院微电子研究所
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合作作者
刘训春
中国科学院微电子研究所
李兵
中国科学院微电子研究所
王佳
中国科学院微电子研究所
张育胜
中国科学院微电子研究所
张永利
中国科学院微电子研究所
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李兵
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:X射线光刻 掩模 干法刻蚀 深亚微米 X射线
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王佳
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:微电子技术 微电子 启辉 真空室 衬底温度
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刘训春
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:晶体管 HBT 电子束曝光 显影 GAAS
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张育胜
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:衬底温度 硅片 辉光放电 辉光 金属电极
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所获资助
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张永利
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:衬底温度 硅片 辉光放电 辉光 金属电极
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王建海
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:反应离子刻蚀 离子刻蚀 谐振频率 偏压 匹配器
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黄清华
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:LNA X波段 低噪声 增益平坦度 放大器模块
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