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杨怀江
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所创新工程资助项目
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合作作者
隋永新
中国科学院长春光学精密机械与物...
倪明阳
中国科学院长春光学精密机械与物...
李显凌
中国科学院长春光学精密机械与物...
苗二龙
中国科学院长春光学精密机械与物...
李佩玥
中国科学院长春光学精密机械与物...
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隋永新
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 镜框 面形 光学检测 光学加工
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倪明阳
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 投影光刻物镜 镜框 投影物镜 光刻物镜
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李显凌
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 镜框 投影光刻物镜 投影物镜 光刻物镜
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研究领域
苗二龙
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:干涉仪 光学检测 光学元件 面形 非球面
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李佩玥
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:压电陶瓷 电容传感器 压电陶瓷驱动 压电驱动器 压电陶瓷驱动器
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高松涛
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:非球面 干涉仪 光学元件 面形 面形误差
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张巍
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:镜框 光学元件 投影光刻物镜 像差 投影物镜
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苏东奇
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:干涉仪 光学检测 面形 像差 波前
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闫丰
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:日盲紫外 紫外探测 紫外图像 滤光片 紫外
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郭抗
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 镜框 光刻物镜 轴向 投影光刻物镜
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