您的位置： 专家智库 > >

张庆钊

作品数：48 被引量：26H指数：3
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术理学金属学及工艺更多>>

合作作者

领域

  • 36个电子电信
  • 29个理学
  • 27个自动化与计算...
  • 26个一般工业技术
  • 22个机械工程
  • 21个化学工程
  • 17个金属学及工艺
  • 17个电气工程
  • 16个文化科学
  • 7个交通运输工程
  • 6个经济管理
  • 6个核科学技术
  • 5个航空宇航科学...
  • 5个农业科学
  • 4个矿业工程
  • 4个医药卫生
  • 3个天文地球
  • 3个建筑科学
  • 3个水利工程
  • 3个轻工技术与工...

主题

  • 35个刻蚀
  • 32个等离子体
  • 28个光刻
  • 28个半导体
  • 27个金属
  • 26个激光
  • 23个纳米
  • 22个电极
  • 21个等离子体刻蚀
  • 21个电路
  • 20个衍射
  • 20个阵列
  • 19个芯片
  • 18个刻蚀工艺
  • 17个原子层沉积
  • 16个电池
  • 15个淀积
  • 14个电子束光刻
  • 13个金属电极
  • 11个氮化镓

机构

  • 35个中国科学院微...
  • 8个中国科学院
  • 5个北京科技大学
  • 5个浙江大学
  • 5个中国科学院微...
  • 4个中国工程物理...
  • 4个嘉兴科民电子...
  • 3个兰州大学
  • 3个中国科学技术...
  • 2个北京大学
  • 2个中国科学院嘉...
  • 1个长春理工大学
  • 1个北京邮电大学
  • 1个北京师范大学
  • 1个电子科技大学
  • 1个辽宁工业大学
  • 1个南京大学
  • 1个北京工业大学
  • 1个北京航空航天...
  • 1个河北大学

资助

  • 32个国家自然科学...
  • 22个国家科技重大...
  • 20个国家高技术研...
  • 20个国家重点基础...
  • 9个中国科学院科...
  • 8个中国科学院知...
  • 7个中国博士后科...
  • 7个中国科学院知...
  • 5个国家重大科学...
  • 4个北京市自然科...
  • 4个国家科技攻关...
  • 4个“九五”国家...
  • 4个国家重点实验...
  • 3个北京市科技计...
  • 3个国家杰出青年...
  • 3个全球变化研究...
  • 3个应用光学国家...
  • 3个中国工程物理...
  • 3个中国科学院微...
  • 2个北京市科技新...

传媒

  • 19个微纳电子技术
  • 18个半导体技术
  • 18个Journa...
  • 13个物理学报
  • 13个光学学报
  • 13个光电工程
  • 11个微细加工技术
  • 10个电子工业专用...
  • 10个微电子学
  • 10个真空科学与技...
  • 9个第十四届全国...
  • 8个物理
  • 8个光子学报
  • 8个电子器件
  • 8个固体电子学研...
  • 7个光学精密工程
  • 7个激光与光电子...
  • 7个无机材料学报
  • 7个功能材料与器...
  • 7个第十二届全国...

地区

  • 35个北京市
  • 3个四川省
  • 1个广东省
共 39 条 记 录，以下是 1-10
夏洋
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李楠
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 启辉 等离子体 电极 半导体制造技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李勇滔
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅衬底 等离子体 SUB 射频电源 离子注入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
席峰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：启辉 电极 等离子体 等离子刻蚀 进气结构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢维尔
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 共掺 受主 掺杂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱效立
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束直写 衍射效率 衍射光学元件 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
屈芙蓉
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 前驱体 PIII 薄膜封装 腔体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘明
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郭晓龙
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：真空设备 微波 干燥装置 硅片 微细结构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘训春
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：晶体管 HBT 电子束曝光 显影 GAAS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共4页<1234>
聚类工具0