2025年4月22日
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夏劲松
作品数:
10
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H指数:2
供职机构:
大连理工大学
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发文基金:
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合作作者
崔岩
大连理工大学机械工程学院精密与...
王立鼎
大连理工大学机械工程学院微纳米...
石二磊
大连理工大学机械工程学院微纳米...
张吕权
大连理工大学机械工程学院微纳米...
赵佳欣
大连理工大学机械工程学院微纳米...
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崔岩
供职机构:大连理工大学
研究主题:PZT薄膜 大气光学 天空 微力传感器 压电
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王立鼎
供职机构:北京四方继保自动化股份有限公司
研究主题:微流控芯片 微机电系统 精密齿轮 精密加工技术 齿轮
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石二磊
供职机构:大连理工大学
研究主题:硅尖 各向异性腐蚀 干法刻蚀 湿法腐蚀 微悬臂梁
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赵佳欣
供职机构:大连理工大学
研究主题:压电薄膜 干法刻蚀 纳米压印 纳米硅 微机械传感器
发表作品
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供职机构
所获资助
研究领域
张吕权
供职机构:大连理工大学
研究主题:压电 压电薄膜 干法刻蚀 纳米压印 纳米硅
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