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唐小萍
作品数:
122
被引量:327
H指数:10
供职机构:
西藏自治区气候中心
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
胡松
中国科学院光电技术研究所
严伟
中国科学院研究生院
邢薇
中国科学院光电技术研究所
赵立新
中国科学院光电技术研究所
王淑蓉
中国科学院光电技术研究所
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胡松
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
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严伟
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:生物芯片 工件台 光刻 纳米光刻 成像系统
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邢薇
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 生物芯片 掩模 动镜 片夹
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赵立新
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
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王淑蓉
供职机构:西安工业大学计算机科学与工程学院
研究主题:生物芯片 电子束曝光机 SERVER 系统设计 UML
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马平
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 掩模 工件台 样片 纳米光刻
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姚汉民
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻分辨力 投影光刻物镜 原子束 光刻 光子晶体
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杨勇
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:纳米光刻 光刻机 投影光刻 光刻 光刻胶
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刘业异
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:生物芯片 光刻机 扫描仪 投影光刻机 投影光刻物镜
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王肇志
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:电子束曝光机 光刻机 片夹 生物芯片 计算机控制系统
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