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刘洁丹

作品数：7 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
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王家畴
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅片 衬底 单晶硅 热电堆 热偶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李昕欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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