王伟 作品数:12 被引量:28 H指数:3 供职机构: 中北大学信息与通信工程学院仪器科学与动态测试教育部重点实验室 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 国家重点基础研究发展计划 教育部“新世纪优秀人才支持计划” 更多>> 相关领域: 机械工程 电子电信 自动化与计算机技术 更多>>
基于NOA73微球与SU-8微柱的微探针制作(英文) 2015年 集成紫外固化胶NOA73微球与SU-8微柱制造的亚毫米探针,可以作为关键部件应用于三坐标测量机。NOA73微球通过NOA73对其他溶液的界面张力形成,柱子由深紫外光穿过微球曝光SU-8形成。这种新技术利用甘油补偿NOA73与空气折射率差,使得紫外光透过NOA73微球后保持接近平行。最终得到高深宽比的探针结构,高度超过1 200μm,微柱侧壁与基底呈89°。 王伟 王伟 贾志浩 段俊萍 崔建利 张斌珍关键词:探针 坐标测量机 微机电系统 一种SOI高温压力传感器敏感芯片 被引量:3 2014年 从传感器的受力结构、能量转化结构和金属引线三个方面对SOI压阻式压力传感器芯片进行高温设计,计算出每个因素所造成的影响并与外部气压对传感器造成的影响进行对比,并给出了压阻的工艺尺寸和掺杂浓度。通过工艺制备和封装,研制出耐高温压力传感器芯片,常温压力测试结果表明传感器敏感芯片在常温下灵敏度较高,非线性误差在0.1%以下,迟滞性小于0.5%。高温下的性能测试结果表明,传感器可以用于350℃恶劣环境条件下的压力测量,为压阻式高温压力芯片的研制提供了参考。 王伟 梁庭 李赛男 洪应平 葛冰儿 郑庭丽 贾平岗 熊继军关键词:压阻 压力传感器 高温 反面水浴斜曝光法制作三维微透镜阵列 2013年 提出一种反面水浴斜曝光的方法用于制作主光轴平行于基底的微透镜阵列。已有的水浴斜曝光法中,由于基底处光刻胶获得曝光剂量较少而不易充分交联固化,在显影时出现与基底粘附不牢固,导致成品率较低。反面水浴斜曝光的方法,是通过光刻以及溅射工艺在玻璃基底上复制掩膜图形,匀光刻胶之后,采用玻璃基底朝上、光刻胶朝下的曝光方法,此方法得到的光刻胶结构很容易牢固地固定在玻璃基底上,显影时不易脱落,提高了成品率,同时有利于后续倒模复制工艺。用该方法获得的透镜直径约为200μm。 吴淑娟 张斌珍 王伟 王伟关键词:微透镜阵列 SU-8光刻胶 非接触无源压力传感器信号检测系统的耦合特性研究 被引量:2 2013年 非接触无源压力传感器信号检测系统利用电磁耦合原理实现了无源传感器信号的无线检测,克服了有线测量存在的安全性差、效率低等缺点。通过建立和分析该系统的互感模型,得知发射和接收线圈之间的互感系数是影响信号传输效率的主要因素。为了实现系统的高效信号传输,应尽量提高互感系数。利用互感理论研究了两线圈的形状参数及耦合距离对两平行共轴矩形平面螺旋电感线圈的互感系数的影响,并用MATLAB软件进行了仿真分析。研究结果表明,为了使两线圈的耦合性能最好,两线圈的设计参数应相同,设计时应尽量使两线圈距离接近的同时,增大线圈的外边长和匝数。 葛冰儿 梁庭 洪应平 李晨 王伟 熊继军关键词:压力传感器 互感系数 基于LC谐振传感器的互感耦合系统阻抗特性 被引量:7 2013年 通过建立LC谐振传感器的互感耦合系统的电路模型,给出了测试端输入阻抗的幅值、实部、虚部及相位与传感器谐振频率的关系,并用MATLAB软件进行了仿真分析。仿真结果表明,当传感器与检测线圈接近发生谐振时,阻抗各分量发生突变。制备了环氧树脂基底的传感器模拟结构,并通过改变传感器与检测线圈之间的距离,测试了传感器的谐振频率。测试结果表明,阻抗相位测得的谐振频率受耦合系数的影响,测试时应调整传感器与检测线圈之间的距离来选择合适的耦合系数,以提高测量的精度,而其他阻抗分量测得的谐振频率基本不受耦合系数的影响。 葛冰儿 梁庭 洪应平 李晨 王伟 熊继军关键词:阻抗 谐振频率 流式细胞仪系统中液体变焦透镜的设计与制作 2015年 以聚二甲基硅烷(PDMS)为基础,设计制作了一种封闭式液体变焦透镜。通过对PDMS薄膜形变情况的仿真分析,利用Matlab数学建模与ANSYS结构仿真,得到薄膜形变结果,确定了合理的透镜腔体结构。在制备工艺上,首先利用SU-8模型制作了PDMS透镜腔,再使用混合PDMS制作出腔体的盖片;然后将两部分进行表面处理后键合,注射填充液、完成二次封装;最后对透镜的表面形变和焦距变化进行了测试,根据测试结果绘制了焦距-磁通量曲线。测试中,在磁通量从200mT到600mT的过程中,焦距由22.0mm变为20.2mm。结果表明,以本文方法制作变焦透镜,可以简化工艺步骤,降低制造成本,减小整体体积,焦距可控,有着更好的密封性,受外界环境干扰小。 贾志浩 段俊萍 王伟 王伟 毛静 王明焕无线、无源压力传感器测试及标定方法 被引量:3 2013年 针对所制备的微机械无线、无源压力传感器的特点,完成了压力传感器的测试与标定。提出了一种测试与标定方法。以压力控制器输出的压力信号为标准信号源,并利用阻抗分析仪测量传感器谐振频率,克服了传统测试方法复杂、精度低等缺点。通过模拟传感器的工作环境来建立压力传感器标定系统平台,根据压力控制器气压参数和传感器谐振频率参数拟合出压力-频率传输直线方程,结合反函数标定法实现传感器的标定。测试结果表明:该测试与标定的方法简单,适用于大多数无线、无源压力传感器。 李晨 谭秋林 洪应平 葛冰儿 王伟 熊继军关键词:压力传感器 无线 无源 柱面微带天线的分析与仿真 被引量:1 2015年 为研究微带天线与安装柱形壳体共形弯曲后工作性能变化,以平面微带天线为基础建模仿真了不同曲半径的柱面微带天线结构,将平面、不同曲半径柱面的微带天线仿真数据进行了详细分析比较。结果表明:当平面微带天线弯曲成柱面时,中心工作频率和10 d B带宽均不会受到影响,但xz和yz截面上的增益会受到影响。由此得到矩形微带天线在不同曲半径柱面下工作性能的优劣,为曲面微带天线的研究和实用化设计提供了准确的理论与仿真依据。 崔丽丽 王伟 王伟 马铁华关键词:柱面 共形微带天线 基于超高频RFID的便携式仓储管理终端系统 被引量:4 2009年 仓储管理是物流当中的一个重要环节。提出了一种基于超高频射频识别(RFID)技术的便携式仓储管理系统,介绍了相关硬件设备电子标签和读写器的组成、工作原理。该系统采用ARM7作为阅读器微控制器,采用无线局域网与管理服务器进行数据的实时传输。实验表明,这种系统能准确地读取标签,有效地对库存货物进行查询、盘库,具有广泛的应用前景。 刘峰 王高 李仰军 王伟关键词:超高频 射频识别 仓储管理 基于紫外厚胶的探针加工工艺 被引量:1 2015年 研究了一种基于紫外厚胶SU-8的亚毫米探针的加工工艺,通过溶液间的界面张力形成微球,再由深紫外光刻形成微柱。这种新技术利用紫外LIGA技术替代较为复杂昂贵的深反应离子刻蚀(DRIE)技术,使用甘油补偿紫外胶与空气之间的折射率差,使紫外光透过微球后依然可以曝光厚达几百微米SU-8胶形成微柱,并且提出原位放大接触点的对准方法,实现了微球与微柱的同轴。最终实现高深宽比的探针结构,可以作为关键部件应用于三坐标测量机。由于此工艺与传感器工艺相容,探针可以直接制作在集成了传感器的测头基底上,大幅减少了装配误差。 王伟 王伟 张斌珍 贾志浩 段俊萍 崔建利关键词:SU-8胶 探针 坐标测量机