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李险峰

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国建材国际工程集团有限公司更多>>
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合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇阴极
  • 1篇溅射
  • 1篇磁场
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇中国建材国际...

作者

  • 1篇张超群
  • 1篇屠友明
  • 1篇李险峰

传媒

  • 1篇建材世界

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
分流片对矩形平面磁控溅射阴极磁场的影响
2013年
分流片对磁控溅射阴极的磁场分布有较为重要的影响,对提高阴极的溅射速率、利用率及膜层的均匀性有着重要的意义。该文分析了分流片的大小、形状、位置对磁场形成的影响,总结了分流片在设计中应注意的问题。
张超群屠友明李险峰
关键词：磁控溅射阴极
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共1页<1>
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