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刘维
作品数:
3
被引量:31
H指数:1
供职机构:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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相关领域:
机械工程
电子电信
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合作作者
艾华
中国科学院长春光学精密机械与物...
韩旭东
中国科学院长春光学精密机械与物...
于平
中国科学院长春光学精密机械与物...
赵波
中国科学院长春光学精密机械与物...
高玉军
中国科学院长春光学精密机械与物...
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高玉军
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赵波
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于平
传媒
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光学精密工程
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1篇
2007
1篇
2005
1篇
2004
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3
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高精度纳米分辨率线位移测量技术研究
艾华
韩旭东
于平
高玉军
刘维
赵波
高精度纳米分辨率线位移测量传感器样机的研制成功,为我国的线位移传感器研究提供了一种新的思路和技术,应用此技术对我国纳米级位移测量与控制提供了先进的测量方法。该仪器利用衍射光干涉的纳米分辨率位移测量技术,光栅节距为测量基准...
关键词:
关键词:
纳米分辨率
激光三角法在位移测量中的应用
被引量:30
2004年
介绍了单点式光学三角法测量物体位移的两种结构-直射式与斜射式,对两种结构的测量原理进行了深入的分析并对其各自的特点进行了阐述.以半导体激光器作为光源,CCD作为光电探测器件,采用直射式结构设计了一种光电位移传感器.分析了影响传感器分辨率,仪器测量精度的主要因素,并提出相应的优化方法.
刘维
韩旭东
艾华
关键词:
三角法
CCD
激光非接触测量在码盘安装调试中的应用
针对目前在码盘安装调试中,轴向端跳检测主要采用接触测量方式,容易使探针划伤码道,造成信号失真,径向偏心检测时间较长等缺点,本文采用非接触测量方法成功的克服了码盘安装调试中所遇到的困难。 首先介绍了光学三角法的测...
刘维
关键词:
非接触测量
光学三角法
光电转换器件
激光
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