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李笑

作品数:2 被引量:4H指数:1
供职机构:武汉大学电子信息学院更多>>
相关领域:理学一般工业技术机械工程电子电信更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 1篇掩模
  • 1篇直读
  • 1篇直读光谱仪
  • 1篇数据生成
  • 1篇光电直读
  • 1篇光电直读光谱...
  • 1篇光谱
  • 1篇光谱分析
  • 1篇光谱仪
  • 1篇光栅
  • 1篇分辨率
  • 1篇达曼光栅

机构

  • 2篇武汉大学

作者

  • 2篇李笑
  • 1篇李松
  • 1篇李莹
  • 1篇郑国兴
  • 1篇周辉
  • 1篇余典
  • 1篇伍力伟
  • 1篇杨成龙
  • 1篇刘莎莎
  • 1篇郭想

传媒

  • 2篇光学与光电技...

年份

  • 1篇2011
  • 1篇2009
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
快速边界识别算法用于达曼光栅掩模数据生成的研究
2009年
针对达曼光栅的数据写入问题,提出了一种快速边界识别算法(FBIA)用于复杂二元光学图形掩模的CIF格式数据的生成。该算法首先识别出达曼光栅图形的边界点,然后按照左手原则对边界点进行排序并构成闭合曲线。针对闭合曲线中可能出现的"孤岛",该算法可自动识别并依据其数量对图形重新分割取点。结果表明FBIA算法具有搜索快、效率高等优点,可广泛应用于各种二元位相型元件CIF格式掩模板数据的生成。
郑国兴李笑刘莎莎李莹郭想李松周辉
关键词:达曼光栅掩模
光电直读光谱仪标定方法的研究被引量:4
2011年
用自行研制的光电直读光谱仪原理样机采集了已知成分的黑色金属的电弧激发光谱,通过理论分析和试验,证明了采用多项式法建立的谱线位置与波长转换关系随标定多项式幂次的增加,其标定误差不断减小。在仪器分辨率顺利实现的条件下,一元三次或四次多项式都是较好的标定多项式选项。
余典李笑杨成龙伍力伟
关键词:光谱分析光电直读光谱仪分辨率
共1页<1>
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