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庄丽波

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室更多>>
相关领域：电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电气工程

主题

  • 1篇电子显微分析
  • 1篇阴极
  • 1篇退火
  • 1篇退火炉
  • 1篇显微分析
  • 1篇内壁

机构

  • 1篇电子科技大学

作者

  • 1篇张德政
  • 1篇包生祥
  • 1篇杜之波
  • 1篇吕德春
  • 1篇王娇
  • 1篇庄丽波

传媒

  • 1篇真空电子技术

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
退火炉内壁白色沉积物的电子显微研究
2009年
针对阴极筒退火过程中在退火炉内壁新产生白色沉积物的现象,利用扫描电子显微镜和能谱仪,分析了该沉积物的结构和成分,并与退火炉在长期退火过程中在内壁形成的原有深色沉积物进行对比研究。结果表明,形貌上白色沉积物荷电现象不明显,成分上主要以C,N,O等元素为主,白色沉积物粉末状的原因为前期电镀工艺结束后未清洗干净的残留镀液在高温下挥发所致。根据分析结果改进清洗工艺,避免了白色沉积物的再次出现。
张德政包生祥杜之波庄丽波王娇吕德春
关键词：电子显微分析
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共1页<1>
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