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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇罗亮
  • 1篇向小龙
  • 1篇罗卫国
  • 1篇赵加宝
  • 1篇彭志虹
  • 1篇朱晓明

传媒

  • 1篇微细加工技术

年份

  • 1篇2006
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
应用于扩散工艺中的闭管扩散技术被引量:7
2006年
介绍了一种用于晶体硅太阳能电池p-n结制造的闭管扩散技术,它主要是针对目前使用的开管扩散技术的不足而提出的,实践证明,该技术不仅扩散均匀性优,而且节源、节能、环保,同时它还可以运用于其它半导体材料的扩散掺杂工艺。
向小龙彭志虹朱晓明罗卫国赵加宝罗亮
共1页<1>
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