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王治宏

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：大连理工大学机械工程学院精密与特种加工教育部重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技支撑计划更多>>
相关领域：金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇正交
  • 1篇正交实验
  • 1篇神经网
  • 1篇神经网络
  • 1篇内应力
  • 1篇网络
  • 1篇模糊神经
  • 1篇模糊神经网络
  • 1篇SU-8胶
  • 1篇BP神经
  • 1篇BP神经网
  • 1篇BP神经网络

机构

  • 1篇大连理工大学

作者

  • 1篇喻立川
  • 1篇刘冲
  • 1篇杜立群
  • 1篇朱神渺
  • 1篇王治宏

传媒

  • 1篇纳米技术与精...

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
模糊神经网络在SU-8胶内应力研究中的应用被引量：2
2007年
以薄膜内应力为指标,对SU-8负性光刻胶的工艺参数进行了优化.根据基片曲率法的原理,通过三因素三水平的正交实验,测量了9组不同工艺条件下SU-8胶层内应力的大小.引入模糊神经网络,对影响SU-8胶内应力的工艺参数进行了优化仿真研究.以正交实验数据为样本,对模糊神经网络进行训练,建立了SU-8胶内应力的大小与前烘温度、曝光剂量和后烘温度3个主要参数之间的预测模型.同时对网络预测结果进行了实验验证,两者结果基本吻合.利用网络优化结果,有效地降低了胶层内应力.
朱神渺杜立群刘冲喻立川王治宏
关键词：SU-8胶内应力正交实验BP神经网络
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