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衬底温度对Al掺杂ZnO薄膜结构及其光电性能的影响被引量：3: 2013年; 利用溅射方法制备了Al掺杂ZnO(AZO)薄膜,探究了衬底温度对薄膜的形貌特征、结构和光电性能的调控。实验结果表明:衬底温度可以调控AZO薄膜的生长方式以及光电性能。随着衬底温度的升高,AZO薄膜从无规则的形状转变为球形并且其颗粒尺寸逐渐减小。XRD分析表明样品的结晶质量随着衬底温度的升高而变佳。透射光谱研究发现,在低衬底温度下,400 nm附近处有一吸收台阶,随着衬底温度升高,此吸收台阶消失,表明衬底温度影响着AZO内部的缺陷。电学性质研究表明随着衬底温度升高,AZO薄膜的导电性能也随着升高,电阻率从9×10-2Ω·cm降到5×10-3Ω·cm。而其载流子浓度从6×1019cm-3增加到2.2×1020cm-3。; 吴克跃吴兴举常磊; 关键词：磁控溅射衬底温度光电性能

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常磊