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金属类MEMS器件可靠性试验技术研究: 2013年; 针对金属类MEMS机构可靠性水平较低且没有标准化的可靠性试验方法的现状，提出将强化试验方法引入金属类MEMS机构的可靠性研究中．确定强化试验的内容为温度循环、随机振动和冲击试验，并分别设计试验剖面．选取MEMS惯性开关作为典型器件开展试验研究，试验结果表明，所设计的可靠性试验能够有效激发MEMS机构的潜在缺陷，温度应力易引起MEMS器件层间产生疲劳效应，而振动和冲击应力则易引发器件结构性损坏；环境应力对MEMS机构具有疲劳累积效应，经历较多试验类型的样本较经历较少试验类型的样本更容易失效；惯性开关的主要失效模式是分层和变形，这2种失效模式在金属类MEMS机构中具有代表性．; 刘加凯齐杏林冯建伟徐龙肖东; 关键词：惯性开关失效模式

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徐龙