您的位置： 专家智库 > >

马志亮

作品数：3 被引量：1H指数：1
供职机构：北京电影机械研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇机械工程

主题

  • 2篇光学
  • 2篇光学薄膜
  • 1篇石英晶体
  • 1篇滤光片
  • 1篇膜厚
  • 1篇膜厚监控
  • 1篇IAD

机构

  • 3篇北京电影机械...
  • 2篇北京光电技术...

作者

  • 3篇闫宏
  • 3篇马志亮
  • 1篇王夏

传媒

  • 2篇光学仪器
  • 1篇中国光学学会...

年份

  • 2篇2006
  • 1篇2005
共 3 条 记 录，以下是 1-3
全选 清除 导出
排序方式：
在固定比较片上用上反射监控方法生产窄带干涉滤光片
2006年
采用上反射法在可更换的固定比较片上对光学镀膜过程进行监控,有利于优化离子束辅助镀膜工艺。介绍了实现这种监控方法的独特系统结构,即采用直角棱镜和自准直光路分离监控光束;对工艺过程和主要结果进行了描述。该监控系统的控制精度优于千分之五,耦合层控制精度优于百分之五,得到了和透射法监控相同的结果。
闫宏马志亮
光学干涉滤光片的石英晶体膜厚自动监控技术被引量：1
2005年
介绍了用石英晶体膜厚控制仪全自动生产光学干涉滤光片的系统结构、镀膜参数和主要结果。讨论了通过改进离子辅助镀膜工艺提高T iO2薄膜折射率稳定性对于应用石英晶体膜厚监控技术的重要性。
马志亮王夏闫宏
关键词：石英晶体膜厚监控光学薄膜
在固定比较片上用上反射监控方法生产窄带干涉滤光片
采用上反射法在可更换的固定比较片上对光学镀膜过程进行监控,有利于优化离子束辅助镀膜工艺。本文介绍了实现这种监控方法的独特系统结构,即采用直角棱镜和自准直光路分离监控光束。对工艺过程和主要结果进行了描述。该监控系统的控制精...
闫宏马志亮
关键词：光学薄膜
文献传递
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0