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吴键
作品数:
1
被引量:4
H指数:1
供职机构:
广东工业大学材料与能源学院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
金属学及工艺
化学工程
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合作作者
胡社军
广东工业大学材料与能源学院
汝强
广东工业大学材料与能源学院
秦聪祥
广东工业大学材料与能源学院
曾鹏
广东工业大学材料与能源学院
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1篇
显微硬度
1篇
耐磨
1篇
耐磨性
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SI含量
1篇
TIAL
机构
1篇
广东工业大学
作者
1篇
曾鹏
1篇
秦聪祥
1篇
汝强
1篇
胡社军
1篇
吴键
传媒
1篇
电镀与涂饰
年份
1篇
2006
共
1
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Si含量对电弧沉积TiAlSiN薄膜性能的影响
被引量:4
2006年
利用等离子体辅助电弧沉积技术制备了不同成分的TiAlSiN多元薄膜,并研究了Si含量对薄膜组织结构、显微硬度和耐磨性的影响。XRD物相分析表明:薄膜主要由AlN和TiN组成。随着膜层中Si含量的增加,薄膜的结构由明显的柱状晶转变为致密的玻璃态结构,显微硬度逐渐提高,耐磨性能得到明显改善。
秦聪祥
曾鹏
胡社军
汝强
吴键
关键词:
显微硬度
耐磨性
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