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张洪滨
作品数:
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供职机构:
华南师范大学物理与电信工程学院
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发文基金:
国家教育部博士点基金
国家自然科学基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
陈俊芳
华南师范大学物理与电信工程学院
史磊
华南师范大学物理与电信工程学院
黄孟祥
华南师范大学物理与电信工程学院
杨春林
华南师范大学物理与电信工程学院
符斯列
华南师范大学物理与电信工程学院
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华南师范大学...
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2008
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基于FPGA的等离子体朗谬尔探针自动检测系统
2008年
该文提出了一种基于FPGA的等离子体朗谬尔探针自动检测系统的总体设计方案及其硬件实现方法.该系统的外围接口电路采用微伏放大模块和隔离放大模块,提高了信号采集的精度,并有效克服了各种干扰.信号的采集与处理通过Verilog HDL语言描述,并在Cyclone系列可编程逻辑器件FPGA上实现,提高了等离子体静电探针参数诊断的效率.得到了放电气压0.25 Pa、射频13.56MHz、功率200 W条件下石英管内的空气等离子体密度和电子温度.
史磊
陈俊芳
符斯列
杨春林
黄孟祥
赖秀琼
张洪滨
关键词:
等离子体源
FPGA
朗谬尔探针
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