您的位置： 专家智库 > >

张自军

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学技术大学更多>>
发文基金：中国科学院“百人计划”国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇接近式光刻
  • 1篇柯勒照明
  • 1篇计算机
  • 1篇计算机模拟
  • 1篇光刻

机构

  • 1篇中国科学技术...

作者

  • 1篇陈有梅
  • 1篇周洪军
  • 1篇郑津津
  • 1篇沈连婠
  • 1篇张自军

传媒

  • 1篇中国科学技术...

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
接近式光刻衍射光场的快速计算机模拟被引量：1
2007年
接近式光刻中一般采用柯勒照明系统,并采用蝇眼透镜形成多点光源均匀掩模面的光场分布.利用基尔霍夫衍射理论及多点光源的衍射光场非相干叠加方法,对光刻胶表面的衍射光场进行了快速计算机模拟,并与霍普金斯理论计算结果进行了分析比较.结果表明采用基尔霍夫衍射理论及多点光源的衍射光场非相干叠加的模型不仅快速而且也可以比较准确地模拟接近式光刻的衍射光场分布.
陈有梅郑津津周洪军沈连婠张自军
关键词：接近式光刻柯勒照明计算机模拟
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0