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李豪
作品数:
4
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供职机构:
北京大学深圳研究生院
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
王新炜
北京大学深圳研究生院
邵友东
北京大学深圳研究生院
高源鸿
北京大学深圳研究生院
苏彦涛
北京大学深圳研究生院
潘锋
北京大学深圳研究生院
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北京大学
作者
4篇
王新炜
4篇
李豪
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潘锋
1篇
苏彦涛
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高源鸿
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邵友东
年份
1篇
2022
1篇
2020
1篇
2019
1篇
2016
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一种基于有机硫前驱体的金属硫化物薄膜及其制备方法
本发明提供了一种基于有机硫前驱体的金属硫化物薄膜及其制备方法,通过采用原子层沉积技术将金属前驱体在惰性载气的存在下通入原子层沉积反应室,沉积一层金属单原子层,再以脉冲的方式向原子层沉积反应室通入有机硫前驱体,得到一层金属...
王新炜
李豪
一种基于有机硫前驱体的金属硫化物薄膜及其制备方法
本发明提供了一种基于有机硫前驱体的金属硫化物薄膜及其制备方法,通过采用原子层沉积技术将金属前驱体在惰性载气的存在下通入原子层沉积反应室,沉积一层金属单原子层,再以脉冲的方式向原子层沉积反应室通入有机硫前驱体,得到一层金属...
王新炜
李豪
一种双功能电催化剂及其应用与制备方法
本发明公开一种双功能电催化剂及其应用与制备方法。所述双功能电催化剂为硫化物/介孔材料,所述硫化物/介孔材料是通过原子层沉积方法在介孔材料上包覆硫化物薄膜制备得到的。本发明利用原子层沉积技术,在高比表面积的介孔材料上均匀地...
王新炜
李豪
文献传递
一种用于电极粉体材料包覆的气相原子层沉积装置及应用
本申请公开了一种用于电极粉体材料包覆的气相原子层沉积装置和电极粉体材料包覆的方法。本申请的气相原子层沉积装置,包括真空反应腔体和监控系统,真空反应腔体中设置有搅拌装置,搅拌装置与监控系统电连接或信号连接,通过监控系统控制...
苏彦涛
王新炜
潘锋
邵友东
李豪
高源鸿
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