涂龙
- 作品数：4 被引量：19H指数：3
- 供职机构：中国科学院光电研究院更多>>
- 发文基金：中国科学院科研装备研制项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程理学更多>>
- 基于数字微镜的并行激光共焦显微检测技术研究被引量：6
- 2013年
- 为了对微纳加工工件进行三维形貌测量,建立了基于数字微镜的并行激光共焦显微检测系统。首先,利用衍射光学对数字微镜的夫琅禾费衍射模型进行了研究。接着,利用数字微镜实现扫描像素单元为2×2,周期为T=3的并行扫描模式。然后对三维图像重构算法和激光散斑匀化进行了分析。最后,利用该系统分别对镀膜平板、WSZ位置灵敏阳极探测器以及螺钉进行了三维测量。实验结果表明,在轴向平移台步距为10nm的条件下,该系统能准确重构出样品三维形貌。该共焦显微检测方法能大大提高共焦扫描速度,能很好地满足一般工业检测需求,本文为并行共焦检测技术提供了一条新的研究和应用方法。
- 涂龙余锦樊仲维邱基斯赵天卓王治昊吴权葛文琦郭广妍王昊成
- 关键词：数字微镜三维图像重构
- 并行共焦显微检测技术及其研究进展被引量：7
- 2012年
- 共焦显微术是一种重要的微小物体成像技术,由于具有高精度、高分辨率及容易实现三维重构图像的优势而被广泛应用于微纳三维形貌测量。近年来,并行共焦显微检测技术引起各国专家的广泛关注,该技术将单点扫描变为多路同时并行探测,大大提高了三维检测速度。综述了并行共焦显微检测技术的基本原理,系统论述了近年来国内外在并行共焦显微检测技术方面的研究进展以及作者在这方面的研究。按照实现并行检测的方法对7种并行共焦显微检测技术进行了分类介绍,并指出了各种方法的优缺点。最后总结了目前存在的技术难题,分析了未来的发展趋势,为我国进一步开展此项研究提供技术参考。
- 涂龙余锦樊仲维边强葛文琦刘洋张雪黄科聂树真李晗貊泽强
- 关键词：显微术数字微镜
- 基于小孔阵列的并行激光共焦显微检测技术研究被引量：3
- 2013年
- 为了对微纳加工工件进行三维形貌测量,建立了基于小孔阵列的并行激光共聚焦显微检测系统。利用自行研发的三波长皮秒脉冲激光加工机在面积为1cm2的铜箔上制备100×100的小孔阵列,以实现并行分光,小孔的平均直径为43.6μm,间距为100μm。利用小孔阵列系统,分别对镀膜平板和螺钉进行了三维测量。实验结果表明,在轴向平移台步距为1μm的条件下,本文系统能对待测样品实现轴向分辨率为1μm、横向分辨率为20μm的三维扫描并重构出样品形貌。本文共焦显微检测方法能大大提高共焦扫描速度,能很好满足一般工业检测需求,本文为并行共焦探测技术提供了一条新的研究和运用方法。
- 涂龙余锦樊仲维王志昊黄科葛文琦聂树真郭广妍王昊成
- 关键词：三维图像重构
- 全固态被动调Q皮秒激光技术研究进展被引量：3
- 2013年
- 全固态被动调Q激光技术在产生皮秒脉冲方面有较快发展。与锁模激光器相比,被动调Q皮秒激光器成本低、结构简单、易于校准光路,避免了锁模激光器结构复杂、机械敏感度高、光路校准困难等缺点,并且同样能够输出单脉冲能量可观、重频合适的皮秒量级短脉冲,因此拥有较高的实用价值。本文讨论了全固态被动调Q皮秒激光技术领域的两种典型技术路线以及对调Q皮秒脉冲输出的后续处理技术,包括非线性技术和激光放大技术等,并介绍了国内外相关研究团队在该领域所做的工作及其突破性进展。
- 王治昊余锦樊仲维葛文琦涂龙貊泽强貊泽强王昊成
- 关键词：全固态被动调Q
