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王明
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1
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供职机构:
北京航空航天大学物理科学与核能工程学院
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发文基金:
国际科技合作与交流专项项目
国家大学生创新性实验计划
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相关领域:
理学
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合作作者
李仁莹
北京航空航天大学物理科学与核能...
唐芳
北京航空航天大学物理科学与核能...
王玫
北京航空航天大学物理科学与核能...
董国波
北京航空航天大学物理科学与核能...
高方圆
北京航空航天大学物理科学与核能...
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作者
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王玫
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唐芳
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李仁莹
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王明
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人工晶体学报
年份
1篇
2013
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ITO薄膜可见光区增透性能研究
2013年
采用MPS单极性脉冲磁控溅射法,在PMMA衬底上制备SiO2增透薄膜,通过改变溅射时间达到最优的增透效果。在此基础上,制备了不同溅射时间的ITO薄膜,系统研究了增透前后的可见光透过率、方块电阻和红外发射率的变化。实验结果表明,增透后薄膜可见光平均透光率提高大约6%,对于溅射时间小于60 min的ITO薄膜增透之后的平均透光率达到80%以上,同时薄膜的方块电阻以及红外发射率变化较小。
李仁莹
王明
董国波
高方圆
唐芳
王玫
刁训刚
关键词:
SIO2薄膜
增透
ITO薄膜
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