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龚海梅
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供职机构:
南通大学
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李毅
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杨波
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杨清华
南通大学
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机构
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南通大学
作者
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郭兴龙
3篇
尹海宏
3篇
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3篇
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3篇
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3篇
邓洪海
3篇
马青兰
3篇
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3篇
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1篇
2018
2篇
2017
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平面型侧向收集结构铟镓砷红外探测器芯片的制备方法
本发明公开了平面型侧向收集结构铟镓砷红外探测器芯片的制备方法,步骤包括:1)外延材料清洗,2)淀积氮化硅扩散掩膜,3)第一次光刻,4)开扩散窗口,5)光刻胶剥离,6)闭管扩散,7)开管取片,8)第二次光刻,9)生长P电极...
邓洪海
郭兴龙
杨清华
杨波
王强
马青兰
邵海宝
王志亮
尹海宏
黄静
李毅
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龚海梅
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一种平面型侧向收集结构铟镓砷红外探测器芯片
本发明公开了一种平面型侧向收集结构铟镓砷红外探测器芯片,包括N型InP衬底、N型InP层、铟镓砷本征吸收层、N型InP帽层、氮化硅扩散掩膜层、载流子侧向收集扩散阻挡区,扩散形成的PN结区和载流子侧向收集区;在光敏元四周生...
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平面型侧向收集结构铟镓砷红外探测器芯片的制备方法
本发明公开了平面型侧向收集结构铟镓砷红外探测器芯片的制备方法,步骤包括:1)外延材料清洗,2)淀积氮化硅扩散掩膜,3)第一次光刻,4)开扩散窗口,5)光刻胶剥离,6)闭管扩散,7)开管取片,8)第二次光刻,9)生长P电极...
邓洪海
郭兴龙
杨清华
杨波
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