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何其宇

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：河北省科学院更多>>
发文基金：中国科学院“百人计划”北京市科技计划项目河北省科技计划项目更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇振动
  • 1篇受迫振动
  • 1篇铜薄膜
  • 1篇溅射
  • 1篇材料检测与分...
  • 1篇超声
  • 1篇超声清洗
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇河北省科学院
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 1篇郭辉
  • 1篇陈广超
  • 1篇孙振路
  • 1篇刘浩
  • 1篇李佳君
  • 1篇白旸
  • 1篇左永刚
  • 1篇何其宇
  • 1篇姜龙

传媒

  • 1篇材料研究学报

年份

  • 1篇2016
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
磁控溅射铜膜与基底结合强度的分析研究被引量：3
2016年
根据磁控溅射金属铜膜在超声清洗中从硅基底上发生剥落的现象,分析了样品在声场中的运动和受力状态,发现样品会发生受迫振动,拉-拉周期应力引起膜基界面的失效是薄膜脱落的主要原因,而空化作用是次要原因。通过建立的力学模型,计算了膜基结合强度。与划痕法等所测得的膜基结合强度值的比较,计算值与测量值在数量级和与溅射参数变化趋势上有很好的吻合。此评价方法可以应用于溅射铜膜/多晶金刚石的膜基体系上,并研究了超声参数、基底表面形貌、基底成份等因素对膜基结合强度的影响。
李佳君刘浩左永刚白旸袁禾蔚何其宇姜龙郭辉孙振路陈广超
关键词：材料检测与分析技术超声清洗受迫振动磁控溅射铜薄膜
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共1页<1>
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