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刘宗芳
作品数:
1
被引量:4
H指数:1
供职机构:
西安理工大学
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发文基金:
西安应用材料创新基金
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相关领域:
理学
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合作作者
杨明超
西安理工大学
林生晃
西安理工大学
刘素娟
西安理工大学
李科
西安理工大学
陈治明
西安理工大学
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刘宗芳
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人工晶体学报
年份
1篇
2012
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PVT法生长SiC过程生长界面形状对热应力的影响
被引量:4
2012年
PVT法生长SiC过程中晶体内部的热应力是其位错产生的主要原因,而生长界面的形状对晶体热应力及缺陷的产生都有一定影响。本文对不同生长界面晶体的温场及应力场进行了数值分析,结果显示相对于凸出及平整界面的晶体,微凹界面晶体的轴向温差最小,同时产生缺陷的切应力τrz及引起开裂的径向正应力σrr值都为最小。
杨明超
陈治明
封先锋
林生晃
李科
刘素娟
刘宗芳
关键词:
SIC
数值模拟
热应力
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