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周敬萱
作品数:
33
被引量:6
H指数:1
供职机构:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
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理学
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合作作者
糜小涛
中国科学院长春光学精密机械与物...
张善文
中国科学院长春光学精密机械与物...
齐向东
中国科学院长春光学精密机械与物...
高胜英
中国科学院长春光学精密机械与物...
王建立
中国科学院长春光学精密机械与物...
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机构
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长春理工大学
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周敬萱
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糜小涛
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齐向东
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张善文
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王建立
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基于横向编码的线差动共焦位移传感器系统
本发明涉及一种基于横向编码的线差动共焦位移传感器系统,属于传感器技术领域。解决现有技术中差动共焦显微镜技术测量效率低的技术问题。本发明的基于横向编码的线差动共焦位移传感器系统,在保证差动共焦显微镜测量精度的同时,将其从点...
王之一
王建立
冯晓鹏
李烁
糜小涛
高胜英
江思博
周敬萱
基于二维色散的干涉共焦测量系统及其测量方法
本发明涉及光学检测领域,尤其涉及一种基于二维色散的干涉共焦测量系统及其测量方法,光源产生的白光经第一准直透镜准直为平行光,经矩形光阑整形为矩形光,经过柱聚焦透镜与矩形狭缝整形为线光束,通过分束镜分为参考光和物光,参考光经...
王之一
王建立
冯晓鹏
糜小涛
李烁
高胜英
江思博
周敬萱
基于微球辅助的差动干涉共焦位移测量系统及测量方法
本发明涉及光学检测领域,尤其涉及一种基于微球辅助的差动干涉共焦位移测量系统及测量方法,测量系统包括激光光源、测试平台、光学探测结构、分束结构、第一偏振分光结构、第二偏振分光结构、探测单元和信号处理单元;测试平台用于放置样...
王之一
王建立
冯晓鹏
李烁
糜小涛
高胜英
江思博
周敬萱
一种调整光栅刻刀方位角的方法
本申请公开了一种调整光栅刻刀方位角的方法,包括:利用光栅刻刀在基底上划刻刻线;利用形貌扫描仪对刻线进行扫描,得到刻线的截面图;根据截面图计算与刻线的凹陷处相邻的第一隆起处的第一隆起面积、第二隆起处的第二隆起面积;根据第一...
糜小涛
张善文
齐向东
林雨
江思博
周敬萱
于宏柱
于海利
文献传递
基于光谱二维横向编码的共焦位移传感器系统
本发明涉及一种基于光谱二维横向编码的共焦位移传感器系统,属于共聚焦显微镜技术领域。本发明的系统包括:第一分束器,第二分束器,物镜驱动器;第一分束器还连接有两个呈90°设置的横向和纵向系统,横向系统连接第一超连续谱激光器,...
王建立
王之一
冯晓鹏
糜小涛
李烁
高胜英
江思博
周敬萱
一种基于横向编码的共聚焦测量系统及其测量方法
本发明提供一种基于横向编码的共聚焦测量系统及其测量方法,属于光学检测技术领域。测量系统通过在现有的共聚焦测量系统中加入分光色散组件,实现光谱的横向编码。测量方法通过将横向编码的几何光学和数学算法相结合的方式,解决了现有的...
王之一
王建立
冯晓鹏
李烁
糜小涛
江思博
高胜英
周敬萱
一种光栅拼接装置
本发明公开了一种光栅拼接装置,包括基体和待拼接的至少两个光栅,所述基体和所述光栅之间设有用以将所述光栅固定于所述基体的若干第一固紧机构,所述基体和所述光栅之间还设有可研磨的调整机构。上述光栅拼接装置通过研磨来减小拼接误差...
糜小涛
张善文
齐向东
林雨
江思博
周敬萱
杨国军
一种调整光栅刻刀方位角的方法
本申请公开了一种调整光栅刻刀方位角的方法,包括:利用光栅刻刀在基底上划刻刻线;利用形貌扫描仪对刻线进行扫描,得到刻线的截面图;根据截面图计算与刻线的凹陷处相邻的第一隆起处的第一隆起面积、第二隆起处的第二隆起面积;根据第一...
糜小涛
张善文
齐向东
林雨
江思博
周敬萱
于宏柱
于海利
文献传递
一种光栅毛坯的面型误差引起的刻线误差的校正方法
本发明提供了一种光栅毛坯的面型误差引起的刻线误差的校正方法,属于衍射光栅的制备技术领域,本发明的校正方法首先测量出待刻光栅毛坯的面型误差,然后求得光栅毛坯面型所引起的刻线误差矩阵,并将之写入光栅刻划程序中,最后在光栅刻划...
糜小涛
张善文
齐向东
江思博
林雨
周敬萱
文献传递
基于光谱二维横向编码的共焦位移传感器系统
本发明涉及一种基于光谱二维横向编码的共焦位移传感器系统,属于共聚焦显微镜技术领域。本发明的系统包括:第一分束器,第二分束器,物镜驱动器;第一分束器还连接有两个呈90°设置的横向和纵向系统,横向系统连接第一超连续谱激光器,...
王建立
王之一
冯晓鹏
糜小涛
李烁
高胜英
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