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王军军
王军军
作品数:
1
被引量:6
H指数:1
供职机构:
复旦大学
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发文基金:
教育部重点实验室开放基金
上海市自然科学基金
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
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合作作者
王锡明
合肥学院机械工程系
周嘉
复旦大学
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理学
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1篇
微机电系统
1篇
微结构
1篇
机电系统
1篇
残余应力
1篇
电系统
机构
1篇
合肥学院
1篇
复旦大学
作者
1篇
周嘉
1篇
王军军
1篇
王锡明
传媒
1篇
微细加工技术
年份
1篇
2007
共
1
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相关度排序
相关度排序
被引量排序
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多层薄膜微结构热应力计算
被引量:6
2007年
建立了以制作工艺为基础、适合多层薄膜微结构的热应力的计算公式。在Stoney方程相同的条件下,验证了所建模型的准确性。所建模型应用于多层微悬臂梁结构在残余应力作用下的形变计算,与实验测量结果的对比表明,误差在10%以内,说明所建模型具有非常好的实用性,可以为多层薄膜微结构设计和优化提供理论依据。
王锡明
王军军
周嘉
关键词:
微机电系统
残余应力
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