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周州

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
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合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电路
  • 1篇选择比
  • 1篇集成电路
  • 1篇光电
  • 1篇光电子
  • 1篇光电子集成
  • 1篇光电子集成电...
  • 1篇INALAS
  • 1篇INP
  • 1篇INGAAS

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇刘跳
  • 1篇郭亚娜
  • 1篇赵永林
  • 1篇蔡道明
  • 1篇周州

传媒

  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2005
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
InGaAs(InAlAs)/InP和InP/InAlAs湿法选择腐蚀研究
2005年
介绍了两种选择腐蚀液对InGaAs(InAlAs)I/nP和InPI/nAlAs异质结构材料选择腐蚀的实验结果,重点介绍在InAlAs上面生长InP的湿法选择腐蚀,用HClH∶3PO4C∶H3COOH系列腐蚀液,InPI/nAlAs选择比大于300。InPI/nAlAs湿法选择腐蚀的结果可以很好应用到OEIC芯片制作中,并取得了较好的器件及电路结果。
赵永林蔡道明周州郭亚娜刘跳
关键词：选择比光电子集成电路
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共1页<1>
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