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一种电磁驱动式微机械可调谐珐珀滤波器及其制作方法: 本发明公开来一种电磁驱动式微机械可调谐珐珀滤波器及其制作方法，属于智能光功能器件领域，主要涉及印刷电路板技术、微加工技术、干涉滤波技术以及电磁驱动技术等。该可调谐珐珀滤波器主要包括箱体1、盖板5、可动镜面支撑4、固定镜面...; 虞益挺朱全发李浩勇; 文献传递

基于多孔式敏感膜片的MEMS光纤珐珀传感器及其局部放电检测被引量：9: 2021年; 基于微机电系统(Micro-electromechanical Systems,MEMS)的非本征光纤珐珀超声传感器具有抗电磁干扰、信号传输距离远、体积小、质量轻等特点,对电力设备中局部放电所释放的超声信号有着良好的检测与定位能力。该型传感器的敏感结构通常为圆形完整膜片,其加工方法相对简单,但是膜片的内外温度差异或压力不平衡会导致传感器性能指标的偏移,减小或消除这种影响是促进光纤珐珀超声传感器工业化应用的基本前提。提出了一种基于多孔式敏感膜片的光纤珐珀超声传感器,敏感膜片采用MEMS工艺制造,其厚度仅有5μm,加工方法简单,成本低廉;进一步地,结合3D打印技术与防水透声膜完成了敏感膜片的保护性封装。实验结果表明:该传感器在液体中具有良好的超声响应,静压灵敏度可达到1.25 V/Pa,距离衰减、方向响应与静态压力等性能与空气中保持相同规律,且通气孔避免敏感膜片内外出现气压不平衡的情况。因此,该传感器在液体中局部放电检测领域展现出较好的应用潜力。; 司文荣傅晨钊卜剑倪鹤立李浩勇王谢君鞠登峰虞益挺; 关键词：光纤传感微光机电系统局部放电

一种面内集成MEMS光纤珐珀敏感芯片及其制作方法: 本发明公开了一种面内集成MEMS光纤珐珀敏感芯片及其制作方法,属于光纤传感领域，该芯片的光纤1固定在光纤槽2中，光纤1与敏感膜片5之间的距离通过孔肩8控制，敏感膜片5位于保护槽4底部，连接于膜片支撑3上，反射层6通过在敏...; 虞益挺李浩勇张怡红熊朝羽司文荣傅晨钊袁鹏; 文献传递

电磁驱动微机械双向调谐珐珀滤波器及其制作方法: 本发明公开了一种电磁驱动微机械双向调谐珐珀滤波器及其制作方法，属于智能光功能器件领域，主要涉及印刷电路板技术、微加工技术、干涉滤波技术以及电磁驱动技术等。器件主要包括箱体1、盖板7以及容纳于箱体1、盖板7之内的第一可动镜...; 虞益挺李浩勇朱全发; 文献传递

基于MEMS光纤超声传感器的局放定位系统研制被引量：9: 2020年; 局部放电(简称局放)是造成电气设备绝缘劣化的主要原因,当前可靠、低成本的局放检测和分析系统需求迫切。本文采用四只MEMS光纤超声传感器,研制了基于USB2.0和Labview的四通道高速采样系统,旨在多方位采集由局放产生的超声波信号并分析放电源的位置。实验结果表明:该系统较好地实现了超声信号的定位,在2 m×2 m×0.9 m空间范围内定位偏差为2 cm^5 cm,有望广泛应用于电气设备的运行状态监测。; 司文荣李泽春熊朝羽傅晨钊李浩勇吴旭涛梁基重虞益挺; 关键词：局部放电高速采样

EFPI光纤超声传感器及其潜在局放检测应用综述被引量：20: 2020年; 电力设备的绝缘问题是导致电力设备故障和事故的主要原因之一,通过局部放电监测可以提前判断电力设备绝缘状况。目前已有多种针对局部放电的检测方法,其中光纤珐珀(Fabry-Perot,F-P)超声传感器具有抗电磁干扰能力强、绝缘性好、灵敏度高等优势,在超声检测方面得到了众多研究者的青睐。为此概述了几种常用的局部放电检测方法,介绍了光纤F-P腔的干涉原理以及光纤F-P超声传感器的工作机制,重点总结归纳了基于银膜片、聚合物膜片、石墨烯薄膜和硅膜片非本征光纤F-P超声传感器的性能制备方法,同时详细分析了光纤F-P超声传感器在模拟局部放电源的检测和定位中的优势。最后通过介绍微机电系统(micro-electro-mechanical systems,MEMS)技术在光纤F-P超声传感器中的应用现状,对基于MEMS技术的非本征光纤F-P超声传感器在局放检测中的应用前景进行了总结和展望。; 姚维强司文荣吕佳明李浩勇吴旭涛李秀广虞益挺; 关键词：微机电系统局部放电电力设备

一种MEMS光纤水听器及其制作方法: 本发明公开了一种MEMS光纤水听器及其制作方法，属于光纤传感领域。水听器主要包括光纤1、腔长控制层2、膜片支撑3、保护帽4、敏感膜片5、质量块6、反射层7、膜片支撑结构8，其敏感结构采用梁支撑/圆形薄膜+质量块形式，旨在...; 虞益挺李浩勇; 文献传递

一种电磁驱动式微机械可调谐珐珀滤波器及其制作方法: 本发明公开来一种电磁驱动式微机械可调谐珐珀滤波器及其制作方法，属于智能光功能器件领域，主要涉及印刷电路板技术、微加工技术、干涉滤波技术以及电磁驱动技术等。该可调谐珐珀滤波器主要包括箱体1、盖板5、可动镜面支撑4、固定镜面...; 虞益挺朱全发李浩勇; 文献传递

电磁驱动微机械双向调谐珐珀滤波器及其制作方法: 本发明公开了一种电磁驱动微机械双向调谐珐珀滤波器及其制作方法，属于智能光功能器件领域，主要涉及印刷电路板技术、微加工技术、干涉滤波技术以及电磁驱动技术等。器件主要包括箱体1、盖板7以及容纳于箱体1、盖板7之内的第一可动镜...; 虞益挺李浩勇朱全发; 文献传递

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李浩勇