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牛耕

作品数:3 被引量:6H指数:1
供职机构:中国科学院电工研究所更多>>
发文基金:国家重大科学仪器设备开发专项中国科学院科研装备研制项目更多>>
相关领域:一般工业技术自动化与计算机技术机械工程更多>>

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 2篇断层成像
  • 2篇透射
  • 2篇计算机
  • 2篇计算机断层
  • 2篇计算机断层成...
  • 2篇溅射
  • 2篇靶材
  • 2篇成像
  • 2篇磁控
  • 2篇磁控溅射
  • 1篇射线
  • 1篇透射式
  • 1篇无损检测
  • 1篇显微技术
  • 1篇纳米
  • 1篇金刚石
  • 1篇溅射法
  • 1篇刚石
  • 1篇X射线
  • 1篇

机构

  • 3篇中国科学院
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 3篇韩立
  • 3篇刘俊标
  • 3篇马玉田
  • 3篇牛耕
  • 2篇赵伟霞
  • 1篇霍荣岭
  • 1篇宋健

传媒

  • 1篇金属学报
  • 1篇CT理论与应...
  • 1篇电子显微学报

年份

  • 1篇2017
  • 1篇2016
  • 1篇2015
3 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
透射式微焦点X射线源钨-金刚石靶材的制备及其性能研究
2017年
本文采用磁控溅射镀膜技术制备了钨-金刚石透射靶材,借助电子扫描电镜对靶材的钨薄膜进行微观形貌分析。同时借助YXLON光机,研究自制靶材在X射线出射率及其产生X射线所需消耗功率和寿命等性能,并与YXLON原带靶材进行性能比较。研究表明,采用磁控溅射制备的钨薄膜与YXLON靶材上的钨薄膜具有相似的表面形貌;在YXLON光机相同工作条件下,自制靶材的X射线出射率略高于YXLON原带靶材的X射线出射率的1%,二者辐射X射线所需的功率相差无几,自制靶材的寿命要长于YXLON靶材的。这表明自制钨-金刚石靶材能够满足微焦点射线源所需的高质量靶材的应用要求。
马玉田刘俊标牛耕赵伟霞韩立
关键词:磁控溅射
基于磁控溅射法显微CTW-Al透射靶材的制备及其性能研究被引量:6
2015年
根据端窗透射Micro-CT靶材的理论模型设计了W-Al透射靶材的基本结构,结合Geant4计算模拟软件和Müller的靶温升计算模型分别确定了W靶面和Al基体的厚度.以YXLON光机的W-Al透射靶材结构参数为依据,采用磁控溅射法在Al基体表面分别制备了厚度为2,5和8 mm的W薄膜,并借助SEM进行微观形貌分析,得到了致密度和均匀度均较好的W薄膜靶面.借助YXLON的X射线管,对3种不同厚度靶材的X射线出射率及其对应所需功率进行了实验研究,结果表明:W靶面的最佳厚度是5 mm,此时,靶材的X射线出射率最大且产生X射线所需的功率最小.在此基础上,进行了X射线出射率和X射线成像效果的对比实验,结果表明:无论在X射线出射率及其所需功率方面,还是在X射线成像效果方面,W靶面厚度为5 mm的W-Al透射靶材的性能均优于YXLON W-Al透射靶材,能够满足Micro-CT所需的高质量靶材的应用要求.
马玉田刘俊标霍荣岭韩立牛耕
关键词:磁控溅射
基于纳米针尖反射靶的X射线显微系统
2016年
本文利用电化学腐蚀方法制备出曲率半径<100 nm的钨针尖,并在FEI Quantum 600型扫描电镜(SEM)中作为反射靶材以搭建微焦点X射线显微系统。通过SEM发射电子束轰击纳米钨针尖,以减少电子束和靶材的物理作用区域,进而减小X射线源的光斑尺寸,实现高分辨率的X射线显微成像。采用线对卡来评价系统的最佳成像分辨率,实验结果表明:系统在加速电压30 k V、电子束束流120 n A、SEM的工作距离5 mm、放大倍数为100倍、探测器采集时间为180 s的条件下,可以获得优于1μm的分辨率图像。
宋健牛耕刘俊标赵伟霞马玉田韩立
关键词:无损检测
共1页<1>
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