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陈路
作品数:
2
被引量:4
H指数:1
供职机构:
中国科学院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
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合作作者
王伟强
中国科学院上海技术物理研究所
林春
中国科学院上海技术物理研究所
丁瑞军
中国科学院上海技术物理研究所
陈建新
中国科学院上海技术物理研究所
胡晓宁
中国科学院上海技术物理研究所
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2017
1篇
2014
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2
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中、长波红外砷掺杂碲镉汞退火激活的光致发光谱分析
邵军
陈路
陈熙仁
赵真典
何力
面向HgCdTe红外焦平面探测器应用的分子束外延材料研究进展
被引量:4
2014年
报道了针对第三代碲镉汞红外焦平面的应用需求进行的碲镉汞分子束外延研究进展.面向大规模HgCdTe红外焦平面探测器的应用,开展了大面积替代衬底上的分子束外延技术研究,报道了在大面积替代衬底上的碲镉汞分子束外延材料的晶体质量、表面形貌和组份均匀性的改善方法和研究结果.512×512及以上规模的中波、短波碲镉汞面阵器件制备验证表明Si基碲镉汞材料满足应用需求.围绕甚长波红外焦平面探测器及雪崩红外焦平面探测器的研制需要,开展了低缺陷的ZnCdTe基碲镉汞分子束外延研究.外延获得的HgCdTe外延材料均匀性得到明显提高.经过外延条件的优化,厚度为10μm的HgCdTe/ZnCdTe(组分x=0.22)分子束外延材料位错密度最好结果为3×104 cm-2,双晶半峰宽小于25弧秒.
陈路
傅祥良
王伟强
沈川
胡晓宁
叶振华
林春
丁瑞军
陈建新
何力
关键词:
红外焦平面
碲镉汞
分子束外延
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