马放
- 作品数：2 被引量：8H指数：2
- 供职机构：长春理工大学光电工程学院更多>>
- 发文基金：广东省教育部产学研结合项目更多>>
- 相关领域：金属学及工艺电子电信更多>>
- 高次非球面微晶玻璃元件的抛光工艺研究被引量：2
- 2012年
- 基于德国OptoTech ASM100CNC铣磨机和OptoTech ASP200CNC-B抛光机组成的非球面数控加工中心,研究了口径Ф110mm高次非球面微晶玻璃透镜的铣磨、抛光工艺以及相关工艺参数,同时采用英国TAYLOR HOBSON轮廓仪,在抛光中对其面形误差进行多次反馈补偿,使微晶玻璃零件表面的面形精度逐步收敛,最终获得高次非球面微晶玻璃元件表面面形Rt(PV值)为0.62μm;表面粗糙度为0.01μm;表面光洁度为三级。
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- 关键词：非球面微晶玻璃轮廓仪
- 红外跟踪系统中非球面硅透镜加工技术研究被引量：6
- 2012年
- 随着军用光学仪器的飞速发展,红外光学材料单晶硅广泛应用于红外光学元件和半导体行业,为了满足精密仪器对光学系统的要求,对光学元件的面型精度要求越来越高。针对红外跟踪系统中对高精度单晶硅透镜的加工技术要求,以Ф26mm的单晶硅透镜为例,通过多次反复研磨修抛和检测分析,并不断优化工艺参数,设计了特殊的夹具,解决了单晶硅表面光洁度问题以及中心偏差难以控制的加工技术难题,并实现了批量生产。经检测,单晶硅非球面面形精度达到0.2μm,表面光洁度达到Ⅲ级以上,中心偏差在1μm以内,各项参数均满足了红外跟踪系统的要求。
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- 关键词：非球面单晶硅面形精度表面光洁度
