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俞坚

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：教育部更多>>
相关领域：电子电信动力工程及工程热物理更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇动力工程及工...
  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电液
  • 1篇镀膜技术
  • 1篇冷却技术
  • 1篇硅片
  • 1篇硅片加工
  • 1篇MEMS技术

机构

  • 1篇教育部

作者

  • 1篇吴玉庭
  • 1篇马重芳
  • 1篇于翮
  • 1篇张强
  • 1篇俞坚

传媒

  • 1篇中国工程热物...

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
微型电液体动力泵的研究
本文介绍了一种新型冷却技术微型电液动力泵的工作原理，利用镀膜技术在硅片上加工了平板形状电极的微型电液动力泵。阐述了利用剥离方法来制作微型电液动力泵的电极，研究了利用库仑力驱动流体流动的电液动力泵的可行性。电极宽度40μm...
张强俞坚于翮吴玉庭马重芳
关键词：镀膜技术MEMS技术冷却技术硅片加工
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