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刘子维

作品数：17 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
相关领域：理学机械工程自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 17篇中文专利

领域

  • 3篇机械工程
  • 3篇理学
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 15篇光栅
  • 13篇衍射
  • 11篇衍射光栅
  • 10篇谐波
  • 9篇谐波污染
  • 8篇透光
  • 8篇光栅结构
  • 6篇单级
  • 6篇自支撑
  • 5篇噪声
  • 5篇极紫外
  • 5篇背景噪声
  • 4篇衍射效率
  • 4篇入射
  • 4篇入射光
  • 4篇透射
  • 4篇透射光
  • 4篇透射光栅
  • 2篇信号
  • 2篇圆孔

机构

  • 17篇中国科学院微...

作者

  • 17篇李海亮
  • 17篇牛洁斌
  • 17篇谢常青
  • 17篇刘明
  • 17篇刘子维
  • 7篇王冠亚

年份

  • 2篇2021
  • 8篇2019
  • 5篇2017
  • 2篇2016
共 17 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种相位型衍射光栅
本发明涉及衍射光栅技术领域，尤其涉及一种相位型衍射光栅，包括：薄膜衬底；所述薄膜衬底上均匀开设的形状和尺寸相同的多个栅孔，其中，所述多个栅孔在所述薄膜衬底上呈规则阵列排布；所述多个栅孔呈规则阵列排布时的横向周期为P<Su...
刘子维浦探超史丽娜谢常青牛洁斌王冠亚李海亮刘明
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一种用于极紫外的二维单级衍射光栅
本发明公开了一种极紫外光的二维单级衍射光栅，包括：透明基底以及位于所述透明基底表面的栅条层；所述栅条层具有多个透光栅条以及多个不透光栅条；所述透光栅条以及所述不透光栅条在第一方向上交替分布，且所述透光栅条以及所述不透光栅...
刘子维浦探超史丽娜谢常青王冠亚李海亮牛洁斌刘明
一种单级衍射光栅
本发明提供了一种单级衍射光栅，所述衍射光栅包括：不透光薄膜及N个透光孔；其中，所述N个透光孔以预设的几率密度、呈准斜方格子分布在所述不透光薄膜上；且所述透光孔的大小与所述准斜方格子的周期之间具有预设的比例；如此，不透光薄...
史丽娜刘子维浦探超李海亮牛洁斌谢常青刘明
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一种极紫外单级衍射光栅
本申请提供一种极紫外单级衍射光栅，包括透光衬底；和位于所述透光衬底上的不透光薄膜，所述不透光薄膜上开设有多个圆形透光通孔；半径随机的圆形透光通孔在所述不透光薄膜上呈斜方格子分布，完全抑制了背景噪声，提高了信噪比；且所述斜...
浦探超刘子维史丽娜谢常青李海亮牛洁斌刘明
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一种纳米柱传感器、折射率检测装置及方法
本申请公开一种纳米柱传感器、折射率检测装置及方法，所述纳米柱传感器包括：衬底、设置在所述衬底上的多个传感单元；所述多个传感单元在所述衬底上以预设间隔周期分布；所述多个传感单元中的每个传感单元包括多个纳米柱；其中，入射光照...
刘子维史丽娜浦探超牛洁斌李海亮王冠亚谢常青刘明
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一种相位型衍射光栅
本发明涉及衍射光栅技术领域，尤其涉及一种相位型衍射光栅，包括：薄膜衬底；所述薄膜衬底上均匀开设的形状和尺寸相同的多个栅孔，其中，所述多个栅孔在所述薄膜衬底上呈规则阵列排布；所述多个栅孔呈规则阵列排布时的横向周期为P<Su...
刘子维浦探超史丽娜谢常青牛洁斌王冠亚李海亮刘明
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一种透射光栅
本发明提供了一种透射光栅，所述透射光栅包括：不透光薄膜及N个透光狭缝；其中，所述N个透光狭缝在所述不透光薄膜上呈周期分布，且所述透光狭缝的大小与所述狭缝的分布周期之间具有预设的比例；所述狭缝沿所述光栅的y轴方向呈之字形；...
史丽娜李海亮刘子维浦探超牛洁斌谢常青刘明
一种透射光栅
本发明提供了一种透射光栅，包括：不透光薄膜及N个透光对称多边形孔；其中，N个透光对称多边形孔在不透光薄膜上呈斜方格子分布，且斜方格子的周期与对称多边形孔的大小之间具有预设的比例；如此，因N个透光对称多边形孔在不透光薄膜上...
史丽娜刘子维浦探超李海亮牛洁斌谢常青刘明
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一种纳米柱传感器、折射率检测装置及方法
本申请公开一种纳米柱传感器、折射率检测装置及方法，所述纳米柱传感器包括：衬底、设置在所述衬底上的多个传感单元；所述多个传感单元在所述衬底上以预设间隔周期分布；所述多个传感单元中的每个传感单元包括多个纳米柱；其中，入射光照...
刘子维史丽娜浦探超牛洁斌李海亮王冠亚谢常青刘明
一种衍射光栅
本发明提供了一种衍射光栅，所述衍射光栅包括：不透光薄膜及开设在所述不透光薄膜上的N个透光圆孔；N为大于100的正整数；其中，所述N个透光圆孔以预设的几率密度、呈准斜方格子分布在所述不透光薄膜上；且所述透光圆孔的大小与所述...
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