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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇溶胶
  • 1篇溶胶-凝胶法
  • 1篇晶体
  • 1篇晶体结构
  • 1篇光电
  • 1篇光电性
  • 1篇光电性能

机构

  • 1篇西北工业大学

作者

  • 1篇曹萌萌
  • 1篇赵小如
  • 1篇刘金铭
  • 1篇张安
  • 1篇常晓
  • 1篇赵亮
  • 1篇王丹红
  • 1篇邵继峰

传媒

  • 1篇人工晶体学报

年份

  • 1篇2010
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
热处理对Al掺杂ZnO薄膜晶体结构及光电性能的影响被引量:7
2010年
采用溶胶凝-胶法在普通玻璃衬底上制备了具有c轴择优取向的Al掺杂ZnO透明导电薄膜。实验中将热处理过程分解为预烧、空气退火和真空退火三个部分,研究了各个步骤对于ZAO薄膜晶体结构和光电性能的影响。结果表明,500℃预烧550℃空气退火的薄膜,经过550℃,1×10-2Pa真空退火后,其晶体结构和光电性能达到最佳,电阻率最低达到1.77×10-3Ω.cm,可见光范围内的平均透过率约为85%。
刘金铭赵小如赵亮张安王丹红邵继峰曹萌萌常晓
关键词:溶胶-凝胶法晶体结构光电性能
共1页<1>
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