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罗列

作品数：2 被引量：7H指数：2
供职机构：浙江理工大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇硅烷
  • 1篇多晶
  • 1篇多晶硅
  • 1篇数值模拟
  • 1篇热分解
  • 1篇炉内
  • 1篇分解过程
  • 1篇分解炉
  • 1篇沉积速率
  • 1篇值模拟

机构

  • 2篇浙江理工大学

作者

  • 2篇姚奎鸿
  • 2篇姚晓晖
  • 2篇罗列
  • 1篇朱成良
  • 1篇俞晓晶

传媒

  • 2篇浙江理工大学...

年份

  • 1篇2012
  • 1篇2009
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
传统硅烷分解炉内分解过程的模拟被引量：5
2009年
基于硅烷热分解的总体反应模型，利用Fluent软件模拟了钟罩式硅烷分解炉内同时发生的传热、传质和热化学反应过程。模拟结果定量地表述了传统硅烷分解炉内发生的各个过程，借此探讨了分解炉内的气压、硅棒温度和硅烷流量等工艺条件对硅烷热分解沉积硅转化率及能耗等技术指标的影响。指出硅棒温度为700-800℃，炉内压力升高至0．3MPa时，有利于提高硅烷分解率，抑制硅粉的产生和降低能耗。
姚晓晖罗列俞晓晶朱成良姚奎鸿
关键词：硅烷热分解数值模拟
典型分解炉中硅烷分解沉积速率的研究被引量：3
2012年
研究在典型硅烷分解炉中硅烷分解沉积多晶硅的沉积速率。硅烷分解沉积多晶硅实验在硅棒表面温度790～900℃、炉内气压5×104 Pa条件下,探讨硅棒温度、硅烷流速与沉积速率的关系。结果显示:沉积反应活化能53.4kJ/mol。并与真空条件下沉积硅的过程进行对比,提出在典型硅烷分解炉中提高多晶硅沉积速率的可能途径。
罗列姚晓晖姚奎鸿
关键词：硅烷多晶硅沉积速率
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共1页<1>
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