本文基于表面等离激元(Surface Plasmon Polariton,缩写为SPP)共振腔提出了一种新型纳米温度传感器。随着温度的升高,金属的折射率会发生微小的变化,而且,共振腔的整体结构也会发生热膨胀,这都是共振腔共振波长随温度变化的因素。同时,为了放大温度对共振波长的影响,引入了一个热膨胀系数不同的金属双层膜,随着双层膜的形变,共振腔的共振波长随之发生更明显的变化。这种共振波长移动的大小可用于测量温度的变化。此外,本文采用有限元法(Finite Element Method,简称FEM)来计算共振腔的光学特性。据了解,这是第一个基于SPP共振腔热膨胀的纳米光学温度传感器,而且与同等尺度的传感器相比,其拥有较大的灵敏度。
