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作者

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  • 1篇姚东媛
  • 1篇张爱平
  • 1篇张枫
  • 1篇姚东嫒
  • 1篇谢树海

传媒

  • 2篇传感器与微系...

年份

  • 1篇2008
  • 1篇2007
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
硅—蓝宝石高温大量程压力传感器设计被引量:8
2007年
介绍了一种硅-蓝宝石高温大量程压力传感器的设计,提出了采用小直径C型膜片的一体化结构,通过合理排布力敏电阻条位置,能够制作出高精度大量程压力传感器。采用该设计研制出了量程分别为60MPa和100MPa压力传感器,其工作温度范围为-50-350℃;满量程输出≥100mV;精度优于0.1%;迟滞与重复性均优于0.05%FS。
闻化张爱平张枫高成臣姚东嫒
关键词:压力传感器
石英晶体谐振式绝对压力传感器研制被引量:2
2008年
介绍了一体化石英谐振式压力传感器的研制,采用石英晶体材料制做弹性膜片,用音叉式石英力敏谐振器检测压力,减少了传感器的体积,降低了制造工艺难度。研制的传感器量程为0-120kPa,中心频率为(40±4)kHz,精度为0.05%。
潘安宝闻化姚东媛高成臣谢树海
关键词:石英晶体谐振压力传感器
共1页<1>
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