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张国庆
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
云南师范大学学报编辑部
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发文基金:
博士科研启动基金
国家自然科学基金
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相关领域:
化学工程
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合作作者
孙力
湖北工业大学机械工程学院
卜智翔
湖北工业大学机械工程学院
王立世
湖北工业大学机械工程学院
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孙力
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云南师范大学...
年份
1篇
2015
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电化学原子层沉积研究现状及沉积体系的构建
被引量:1
2015年
近年来,电化学原子层沉积(Electrochemical atomic layer deposition,E-ALD)技术在制备催化、光电及热电等功能薄膜的研究和应用方面取得了较大进展.概述了E-ALD的发展历史、沉积原理、研究及应用情况,介绍了课题组研发的E-ALD系统的构成和生长过程的控制机理.
王立世
张国庆
Marie-Christine Record
卜智翔
孙力
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