张巧玲
- 作品数:1 被引量:0H指数:0
- 供职机构:三峡大学机械与材料学院更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:电气工程更多>>
- Mn掺杂PBST薄膜的溶胶-凝胶工艺制备及介电调谐性能
- 2011年
- 采用溶胶-凝胶工艺在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了Mn掺杂的钛酸锶铅钡PBST铁电薄膜.探讨了掺杂后PBST薄膜的微观结构及其铁介电性能.实验结果表明:随着Mn的掺杂量的增加,PBST薄膜的晶化质量变好,介电常数、介电损耗和调谐量均有减小的趋势,其优值因子有显著的提高.在测定频率为1MHz下,掺杂后的PBST薄膜介电常数和介电损耗呈下降趋势,薄膜的介电常数从未掺杂的1 250降低至掺杂后的610,同时介电损耗由0.095减小到0.033,当Mn为J4mol%时,有最小的介电损耗0.033,虽然调谐量不是最高的,但有最大的优值因子(FOM),其微波介电综合性能有所改善.
- 李修能孙小华周生刚侯爽罗志猛杨英张巧玲
- 关键词:MN掺杂微观结构