马德营 作品数:7 被引量:58 H指数:4 供职机构: 山东大学物理学院晶体材料国家重点实验室 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 国家高技术研究发展计划 更多>> 相关领域: 电子电信 理学 更多>>
金刚石线锯切割大直径SiC单晶 被引量:23 2005年 采用金刚石线切割大直径的SiC单晶,研究了金刚石线锯的切割机理和切割参数,给出切割SiC单晶的实验结果。研究了金刚石线的寿命及各切割参数对线径减少量、翘曲度、表面粗糙度的影响。用光学显微镜观察了磨损的金刚石线和切割表面。 陈秀芳 李娟 马德营 胡小波 徐现刚 王继扬 蒋民华关键词:SIC 翘曲度 PIN结构发光二极管反向击穿特性分析 被引量:3 2006年 通过利用突变结PIN理想结构电场分布模型,分析了该结构发光二极管(LED)反向击穿电压与非故意掺杂有源区厚度的线性相关性。通过利用LP-MOCVD技术生长了不同厚度多量子阱(MQW)有源区AlGaInP LED,测量了器件的反向击穿特征,测试结果与理论分析非常吻合。同时获得了AlGaInPMQW结构的临界反向击穿电场强度数值。这些结果可以作为具有PIN结构的LED性能优化的重要参考。 李树强 夏伟 马德营 张新 徐现刚 蒋民华关键词:发光二极管(LED) 反向击穿电压 PIN结构 Mg掺杂AlInP 650 nmLD外延片的Zn扩散研究 2006年 利用石英闭管法,对Mg掺杂AlInP 650 nm LD外延片进行Zn扩散,分析了扩散温度和时间2个参数对Zn扩散的影响。采用光致发光(PL)谱和电化学蒸涂(ECV)方法研究了Zn扩散产生的影响。PL谱结果表明,Zn扩散引起了AlGaInP/GaInP多量子阱(MQW)有源层的组分无序,使PL谱的峰值蓝移,最大蓝移为54 nm,约175 meV。ECV测量结果显示,Zn已经扩散到MQW有源区,MQW区域的p型载流子浓度为4.4×1017cm-3。 李树强 马德营 夏伟 陈秀芳 张新 任忠祥 徐现刚 蒋民华关键词:ZN扩散 Mg掺杂AlInP限制层窗口结构高功率(3.7W)660nm AlGaInP宽面半导体激光器 被引量:4 2009年 本文采用低压金属有机化学气相沉积系统(LP-MOCVD)生长出Mg掺杂压应变分别限制多量子阱结构的AlGaInP/GaInP 660 nm LD外延材料,制作出腔长1000μm、条宽150μm的宽面半导体激光器。采用选择性Zn扩散在管芯两端面区制作出透明窗口结构来提高器件的腔面光灾变阈值(COD)。透明窗口结构激光器最大连续输出功率为3.7 W,是正常结构的激光器COD饱和功率的4.4倍。激光器的特征温度T0为68 K,热阻为4.6 K/W。在热沉温度为20℃时进行了500 mW恒功率老化,老化时间为1000 h。 马德营 李佩旭 夏伟 李树强 汤庆敏 张新 任忠祥 徐现刚关键词:ZN扩散 热阻 ALGAINP 半导体激光器 高透腔面大功率650nm红光半导体激光器 被引量:7 2007年 利用石英闭管法对金属有机化学气相沉积(MOCVD)外延生长的应变量子阱(MQW)650 nm AlGaInP/GaInP材料进行选择区域扩Zn,使扩Zn区域的光致发光(PL)谱的峰值蓝移达175 meV,形成对650 nm波长激光器的高透腔面,有益于减少激光器腔面光吸收,增加了激光器退化的光学灾变损伤(COD)阈值.后工艺制作出条宽100μm,腔长1 mm的增益导引激光器,实现了红光半导体激光器的大功率输出.激光器阈值电流为382 mA,在2.28 A工作电流时达到光学灾变损伤阈值,最大连续输出光功率1.55 W,外微分量子效率达到0.82 W/A. 夏伟 马德营 王翎 李树强 汤庆敏 张新 刘琦 任忠祥 徐现刚关键词:激光器 大功率 NM MOCVD生长低阈值电流GaInP/AlGaInP 650nm激光器 2006年 通过MOCVD外延实现了限制层高铝组分及高掺杂,制作出低阈值电流密度的压应变多量子阱激光器材料,后工艺制备了低阈值电流基横模弱折射率脊形波导激光器。该激光器阈值电流最低达到6.2mA,这是我们所见报道的650nm A lGaInP红光激光器的最低阈值电流。在25mA工作电流下,基横模连续输出功率达到18mW。 夏伟 王翎 李树强 张新 马德营 任忠祥 徐现刚关键词:MOCVD 低阈值电流 SiC单晶片的超精密加工 被引量:27 2006年 半导体晶片的加工质量和精度,直接影响到器件的性能。本文提出了一种超精密加工SiC晶片的方法,并详细论述了化学机械抛光的原理。加工后的SiC单晶片,平整度为±3μm,粗糙度<5nm,且应力较小。 李娟 陈秀芳 马德营 姜守振 李现祥 王丽 董捷 胡小波 徐现刚 王继扬 蒋民华关键词:化学机械抛光 粗糙度 平整度