张明杰
- 作品数:3 被引量:6H指数:2
- 供职机构:昆明理工大学材料科学与工程学院稀贵及有色金属先进材料教育部重点实验室更多>>
- 发文基金:云南省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:一般工业技术化学工程更多>>
- 不同冷等静压压力对ITO靶材性能影响的研究被引量:1
- 2015年
- 采用模压和冷等静压结合的复合压制方式,即将前处理后的ITO粉体先经过超声波辅助模压成形,再经低温脱脂后将坯体冷等静压成形。设置了不同的成形压力,在超声波功率为1.5kW的超声波振动辅助下保压4min,得到ITO素坯。研究了不同冷等静压压力对ITO素坯的致密度和形貌的影响。结果表明,在冷等静压压力为250MPa时,得到了形状规则、致密度程度高、成分均匀的ITO素坯。
- 张明杰陈敬超彭平于杰
- 关键词:模压冷等静压超声波
- 烧结工艺对ITO靶材致密度与电阻率的影响被引量:4
- 2015年
- 以等离子电弧法制备的铟-锡氧化物(indium-tin oxide,ITO)纳米粉末为原料,采用冷等静压-烧结工艺制备ITO靶材,用排水法和涡流导电仪分别对ITO靶材的致密度和电阻率进行测量,研究烧结温度、升温速率、烧结时间以及气氛压力对靶材致密度和电阻率的影响。结果表明,在烧结温度为1 550℃、升温速率为500℃/h、烧结时间8 h、氧气气氛压力为0.02 MPa条件下制备的ITO靶材致密度和电阻率分别为99.54%和1.829×10-4?·cm,能够满足高端光伏、液晶显示屏(LCD)等领域对ITO靶材致密度和电阻率的要求。
- 张明杰陈敬超彭平于杰
- 关键词:烧结温度升温速率电阻率
- ITO陶瓷靶材的制备方法及研究现状被引量:2
- 2015年
- 介绍了ITO靶材的各种性能及应用,综述了目前常用的几种靶材成形方法和烧结工艺以及他们的研究现状,并对ITO靶材今后的发展趋势进行了展望。
- 张明杰陈敬超彭平于杰吴涛
- 关键词:ITO靶材