张阔
- 作品数：7 被引量：14H指数：3
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- 相关领域：理学更多>>
- 3.7～4.8μm中红外带通滤光膜研制被引量：4
- 2019年
- 以光学薄膜理论为出发点,系统介绍了3.7~4.8μm带通滤光膜的理论设计与优化、实际生产制备以及成品测试方法。考虑到膜料性能及膜层匹配等问题,分别选用锗和一氧化硅作为高低折射率材料,并以氧化铝作为薄膜基底。确定了滤光膜的基础膜系,并使用Filmaster软件对膜系进行了设计和优化计算。在薄膜蒸镀过程中,根据材料选取合适的镀制工艺。通过温度控制、离子辅助等方法研制出了可靠性与光谱特性皆优的带通滤光膜,并对其光谱特性及膜层质量等进行了测试。根据设计目标修改工艺参数,最终确定可行的工艺流程,从而研制出了符合光学性能设计指标的3.7~4.8μm带通滤光膜。
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- 关键词：中红外膜系设计工艺参数
- 2.06μm激光偏振膜设计与工艺方法
- 2019年
- 介绍了近红外固体激光器中2.06μm激光偏振膜的用途、设计与制备方法。基于薄膜光学的基本理论以及三种不同膜系结构的对比,确定了初始膜系结构。讨论了薄膜选材、通带波纹压缩、工艺制备等相关技术问题。利用计算机优化软件对膜系结构进行了反复优化。采用电子束真空蒸镀和离子源辅助沉积工艺完成了偏振膜的制备,并对其进行了光谱检测。然后根据测试结果对制备过程中的相关参数进行了优化,最终制备出了光学性能优异、膜层吸收少、均匀性好、稳定性高的激光偏振膜。
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- 关键词：膜系设计光谱检测
- 1.3~2.7μm带通滤光膜研制与分析
- 2022年
- 光学薄膜技术广泛应用于几乎所有的光学系统、光电系统和光电仪器。新型探测器的发展对1~3μm近红外波段附近的能量响应提出了滤波的要求。从电磁场理论和麦克斯韦方程出发,介绍了光学薄膜的设计理论,论述了带通滤光膜的设计方法。基于Optilayer软件,以氧化铝为基底,设计了一种工作波段为1.3~2.7μm的近红外带通滤光膜。考虑到镀膜材料的匹配性问题,选择硫化锌和氟化镱作为高、低折射率材料。采用长波通与短波通相结合的设计方法,并用Optilayer软件完成了膜系的计算和优化。在氧化铝基底双面镀制膜,用电子束蒸发和离子束辅助沉积的制备工艺完成了膜系镀制。用分光光度计对制备样品进行了透过率测试。结果表明,在1.3~2.7μm设计波段,样品的平均透过率大于95%,符合带通滤光膜的设计要求。
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- 关键词：近红外透过率氧化铝
- 硒化锌基底7．8～10．6μm波段增透膜被引量：5
- 2006年
- 文中介绍了研制的7．8～10．6μm的长波红外增透膜，平均透射率大于98％。通过材料选择，合理的膜系设计，离子辅助技术和温度筛选等多种改进工艺，研制出可靠性和光谱特性皆优的ZnSe长波红外增透膜，达到了GJB2485-95光学薄膜通用规范要求。
- 林炳孙剑张阔王春武淑明朱震
- 关键词：光学薄膜红外增透膜
- 可见光变角度带通滤光膜研制被引量：5
- 2018年
- 以薄膜光学为背景,介绍了可见光波段变角度带通滤光膜的用途、设计与制备方法。基于波动光学原理,首先分析了带通滤光膜的光学特性以及变角度使用的难点,其次讨论了0°~33°入射时薄膜选材、测试、工艺制备等研究过程中的主要技术问题。利用薄膜软件进行优化计算后,结合光学控制与离子辅助工艺得到了吸收低、偏移量小与附着力良好的薄膜。目前相关的技术应用在地形勘测相机中达到了空间变角度高分辨率成像的效果。
- 岳威岳威苑利钢韩永昶苑利钢韩永昶
- 关键词：可见光光学薄膜
- 氧化铝基体3.7μm与4.8μm双波段带通滤光膜研制
- 2018年
- 以红外光学和薄膜技术为理论背景,详细介绍了氧化铝基体表面3.7μm与4.8μm双波段带通滤光膜的特性、制备及测试方法。氧化铝(Al_2O_3)由于其透光区域较宽,牢固度好,便于光学系统使用而被经常应用于中波红外光学系统中。采用软件优化计算和双面镀制截止带通滤光膜的方案,通过速率控制、离子辅助等工艺方法研制成功了可靠性和光谱特性皆优的双波段带通滤光薄膜。分析认为设计结构和优化算法对于薄膜通带平坦度、截止深度以及透过率有着明显的影响。制备工艺方面,除了合适的蒸发速率外,采取缓慢蒸发和弱离子能量辅助也是很重要的关键技术,最终光谱透过率测试平均大于87%,通过了环境测试,符合使用要求。
- 岳威韩隆张阔韩永昶赵明艳
- 关键词：红外光学透过率
- 用于红外焦平面探测器的2.95~5.05μm带通滤光膜
- 2023年
- 中波红外焦平面探测器因在红外制导导弹、红外夜视仪等军事领域的重要性而被广泛关注,其中带通滤光膜具有滤除杂散光和保护探测器的作用。本研究的目的是针对中波红外焦平面探测器滤光膜的关键技术问题,通过分析、选材、优化等方法,制备出性能良好的中波红外带通滤光膜。以Ge为高折射率材料和基底,以SiO为低折射率材料,设计了带通膜系结构。不仅实现了在0°入射角下对2.95~5.05μm波段大于92%的高透过率、通带宽度优于3.7~4.8μm的常规应用,而且对2.95~5.05μm之外的其它波段也能达到良好的截止效果。经测试,其光洁度、牢固性等各方面性能良好,可以很好地应用于中波红外焦平面探测器。
- 岳威王栩榕韩隆韩永昶张阔刘连泽李熙韬
- 关键词：中波红外透过率锗
