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李莉

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：天津工程师范大学更多>>
发文基金：天津市高等学校科技发展基金计划项目更多>>
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合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇金属诱导
  • 1篇金属诱导横向...
  • 1篇金属诱导结晶
  • 1篇晶粒
  • 1篇晶粒生长
  • 1篇扩散
  • 1篇固相
  • 1篇固相反应
  • 1篇非晶硅

机构

  • 1篇天津工程师范...

作者

  • 1篇王光伟
  • 1篇张建民
  • 1篇倪晓昌
  • 1篇李莉

传媒

  • 1篇液晶与显示

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
非晶硅和非晶硅锗薄膜的金属诱导结晶被引量：1
2009年
分析了金属Ni、Al诱导非晶Si及非晶SiGe薄膜结晶的条件、特点和机理。简要介绍了金属诱导结晶相对于其它一些结晶工艺的优势及其在薄膜晶体管中的应用。概述了影响诱导结晶速率和薄膜微结构的诸多因素,如热处理条件和外加电场等。对电场增强金属诱导横向结晶的相关问题进行了探讨,指出适当强度的电场可显著加快横向诱导结晶的速率,但更强电场则会降低该速率,基于电迁移效应对该现象进行了解释。
王光伟张建民倪晓昌李莉
关键词：金属诱导结晶金属诱导横向结晶固相反应扩散晶粒生长
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