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张亮亮
作品数:
1
被引量:4
H指数:1
供职机构:
华中科技大学制造工程研究院
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发文基金:
广东省重大科技专项
国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
祝孟鹏
中南大学
韩雷
中南大学
隆志力
哈尔滨工业大学深圳研究生院
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隆志力
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张亮亮
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中国机械工程
年份
1篇
2012
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基于频率灵敏度方法的超声键合换能器结构优化
被引量:4
2012年
针对超声换能器设计上存在的双共振峰或多共振峰等常见问题,提出了一种基于频率灵敏度方法的换能器结构优化设计方法。以芯片键合超声换能器为例,采用模态频率灵敏度的方法,通过最小量地修正变幅杆的直径,实现轴向工作频率与其他非工作频率的分离,有效地抑制了工作频率附近杂散的非工作模态对自身模态的干扰,确保在工作状态下换能器被驱动在单一的工作频率,从而提高了超声能量输出的稳定性。
隆志力
韩雷
祝孟鹏
张亮亮
关键词:
结构优化
超声键合
换能器
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