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张晟

作品数：1 被引量：7H指数：1
供职机构：复旦大学信息科学与工程学院专用集成电路与系统国家重点实验室更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇热式
  • 1篇热式流量计
  • 1篇微机电系统
  • 1篇温差
  • 1篇流量计
  • 1篇机电系统
  • 1篇风速计
  • 1篇MEMS
  • 1篇新结构
  • 1篇电系统

机构

  • 1篇复旦大学

作者

  • 1篇曾祥宇
  • 1篇陈则
  • 1篇黄宜平
  • 1篇张晟

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
一种结合温差式和风速计式的新结构MEMS热式流量计被引量：7
2009年
在器件结构上结合了温差式和风速计式两种检测原理,设计并制造了一种新型结构的MEMS热式流量计。在对温差式流量计的灵敏度、量程等特性进行了有限元仿真的基础上,优化设计了器件结构。同时,提出了一种利用Matlab/Simu-link时域仿真实现热源控制电路设计的方法。采用MEMS微加工技术研制了新型结构的热式流量计。测试结果表明该新设计比传统MEMS热式流量计灵敏度提高近4倍。
陈则曾祥宇张晟黄宜平
关键词：微机电系统热式流量计
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共1页<1>
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