李明佳
- 作品数：2 被引量：5H指数：2
- 供职机构：厦门大学化学化工学院化学系更多>>
- 发文基金：福建省科技重点项目教育部留学回国人员科研启动基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信金属学及工艺更多>>
- 模板电解法快速制作玻璃微流控芯片被引量：2
- 2008年
- 玻璃微流控芯片在许多领域已经得到较广泛的应用,但目前的加工需要繁琐的步骤及昂贵的设备进行图形转移及金属牺牲层开窗口。本文提出一种快速制作金属牺牲层图形窗口以用于玻璃微流控芯片加工的方法。以CO2激光直写加工PET膜模板,微细电解加工玻璃基片上的铬/金牺牲层快速获得窗口,湿法腐蚀及热键合制作玻璃微流控芯片。结果表明该法可在10秒内开窗口,电解加工过程使用的模板厚度、电解液组成及施加的压力与电压对窗口的质量都有显著影响。加工的微通道宽度为145μm,边缘整齐,宽度均匀,相对标准偏差为3.72%,深度25μm,底部平整度高,并成功用于氨基酸混合液的芯片毛细管电泳分离。同时使用该方法加工的金微电极阵列,电极宽度为100μm,最小间距可达100μm。
- 叶嘉明李明佳庄金亮周勇亮
- 关键词：微流控芯片微细电解加工微电极
- 热压法快速制作微流控芯片模具被引量：3
- 2007年
- 提出了一种微流控芯片模具的快速批量制作方法。应用光刻与湿法腐蚀技术制作玻璃母模,然后采用热压成形技术批量制作聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)阳模,再利用阳模浇模、键合批量制作聚二甲基硅氧烷(PDMS)微流控芯片。结果表明,该法制作的PMMA模具及复制得到的PDMS芯片平整度好、一致性高,其沟道宽度和深度的相对标准偏差分别小于0.5%和1.5%。
- 叶嘉明李明佳周勇亮
- 关键词：微流控芯片热压法
