邹淑芳
- 作品数：3 被引量：3H指数：1
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- 相关领域：理学机械工程一般工业技术电气工程更多>>
- 薄圆片石英晶体应力分布及谐振器力频实验被引量：2
- 2009年
- 利用ANSYS有限元理论模型分析AT切石英晶体受沿x轴方向的对径力作用时晶片内的应力分布情况,并计算三电极位置处的应力变化比值。测试了三电极谐振器的基频振荡频率,并计算其相应的力频系数。通过比较ANSYS仿真分析的结果和实验所得结果,表明ANSYS仿真分析计算结果与实验结果基本一致,从而证明ANSYS仿真分析是可行的。因此,在同一晶体基片上设计谐振器时,可借助有限元分析手段,根据晶片内的应力分布情况,在有限空间范围内初步选择应力变化差异较大的位置设置电极,以此获得力频敏感特性显著的集成式石英晶体谐振器。
- 罗兵田文杰邹淑芳
- 关键词：石英晶体ANSYS分析谐振器应力分布
- 石英晶体谐振器电极及激励状态对谐振频率特性的影响被引量：1
- 2009年
- 设计了一种新型的单基三电极石英晶体谐振器,并在大气环境条件,测试了在单独激励和同时激励状态下镀金电极、镀铝电极对应的石英晶体谐振器的谐振频率及频率稳定性,比较了不同激励电路对相同谐振器频率稳定性的影响。根据实验结果,分析了电极材料和激励电路对石英晶体谐振器谐振频率及频率稳定性产生影响的原因,提出了改进措施。为改善石英晶体谐振器谐振频率特性,进一步提高石英晶体谐振器谐振频率稳定性提供了依据。
- 田双田文杰邹淑芳霍静
- 关键词：频率稳定度电极材料
- 电极材料对集成式谐振器力敏特性的影响
- 2009年
- 设计制作了同一晶片上的集成三电极的谐振器。研究了这种谐振器的力敏特性与加力方位、电极材料的关系。并对电极材料分别为Au、Al的谐振器进行了比较实验。结果表明,谐振器的力敏特性与加力方位密切相关,加力方位与x轴夹角ψ为0°时,力敏系数最大;电极材料通过对石英晶体谐振器有效机电耦合系数的影响,进而影响谐振器的力–频特性。集成式谐振器在相同加力方位时,镀Au电极比Al电极的力敏系数最大可高出189.8Hz/N。
- 霍静田文杰田双邹淑芳
- 关键词：电极材料
